凈化小課堂來臨-關(guān)于電子車間凈化工程潔凈度的特點【東鑫凈化】

芯片生產(chǎn)車間、集成電路無塵室和磁盤制造車間是屬于電子制造行業(yè)潔凈室的重要組成部分，由于電子車間凈化工程產(chǎn)品在制造、生產(chǎn)過程中對室內(nèi)空氣環(huán)境和品質(zhì)的要求極為嚴(yán)格，主要以控制微粒和浮塵為主要對象，同時還對其環(huán)境的溫濕度、新鮮空氣量、噪聲等作出了嚴(yán)格的規(guī)定。關(guān)于電子車間凈化工程的溫度應(yīng)控制在22℃左右，相對濕度控制在50-60%之間（特殊潔凈車間有相關(guān)溫濕度規(guī)定），這時可有效地去除靜電使人感覺舒適。

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1、電子車間凈化工程內(nèi)的噪聲級（空態(tài)）：不應(yīng)大于65dB(A)。

2、電子車間凈化工程垂直流潔凈室滿布比不應(yīng)小于60%，水平單向流潔凈室不應(yīng)小于40%，否則就是局部單向流了。

3、電子車間凈化工程室內(nèi)與室外的靜壓差不應(yīng)小于10Pa，不同空氣潔凈度的潔凈區(qū)與非潔凈區(qū)之間的靜壓差不應(yīng)小于5Pa。

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4、電子車間凈化工程內(nèi)的新鮮空氣量應(yīng)取下列二項中的大值：

（1）補(bǔ)償室內(nèi)排風(fēng)量和保持室內(nèi)正壓值所需的新鮮空氣量之和。

（2）保證供給潔凈室內(nèi)每人每小時的新鮮空氣量不小于40m3。

（3）電子制造行業(yè)潔凈室凈化空調(diào)系統(tǒng)加熱器，應(yīng)設(shè)置新風(fēng)，超溫斷電保護(hù)，保證電子廠房凈化工程空氣潔凈度等級的送風(fēng)量；根據(jù)熱，濕負(fù)荷計算確定電子潔凈室的送風(fēng)量；向電子無塵室內(nèi)供給的新鮮空氣量。