電子無塵車間施工設(shè)置真空泵要滿足什么要求呢？

        對于電子無塵車間來說，必不可少的一道工序就是無塵車間施工。但是你們對電子無塵車間施工設(shè)置真空泵要怎樣才能滿足要求呢？今天呢，小編就給大家簡單地普及一下。

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      1、使用油潤滑的真空泵應(yīng)該設(shè)置除油裝置，除油后尾氣應(yīng)排入排氣系統(tǒng)。

      2、對傳輸含有可燃?xì)怏w的真空泵，可燃?xì)怏w濃度超過爆炸下線的20%時，應(yīng)設(shè)置尾氣處理裝飾，在排入排氣系統(tǒng)前應(yīng)去除或稀釋可燃?xì)怏w組成。

      3、傳輸易燃、自燃化學(xué)品或高濃度氧氣的真空泵，應(yīng)采用不燃泵油。并配置氧氣吹掃，氧氣吹掃控制閥應(yīng)與生產(chǎn)工藝設(shè)備操作系統(tǒng)聯(lián)鎖。

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