無塵凈化車間如何升級改造【東鑫凈化】

凈化無塵車間升級改造的設(shè)計方案制定，雖然原則應(yīng)該說基本相同的，但是由于空氣潔凈度等級的提升．尤其是由非單向流潔凈室升級為單向流潔凈室或由 1S06級/1S05級潔凈室升級改造為 1S0 5級/Is04級/1s03級潔凈室時．無論是凈化空調(diào)系統(tǒng)的循環(huán)風(fēng)量、無塵凈化車間的平面和空間布置還是相關(guān)的潔凈技木措施等都有較大或很大的變化，因此無塵凈化車間的升級改造除了前面己敘述的設(shè)計原則外還要考慮下述因素：

①對凈化無塵車間的升級改造，首先應(yīng)該結(jié)合具體工程實際情況制定的一個可能實現(xiàn)的改造方案，根據(jù)升級改造的目標(biāo)及相關(guān)技術(shù)要求和原有建設(shè)的現(xiàn)狀等，進(jìn)行認(rèn)真、翔實的多設(shè)計方緊的技術(shù)經(jīng)濟(jì)比較。這里應(yīng)該特別指出的是此項比較不僅是改造的可能性和經(jīng)濟(jì)性，還應(yīng)包括升級改置后運行費用的比較，尤其應(yīng)注意能源消托費用的比較。為完成此項任務(wù)，業(yè)主應(yīng)委托有實踐經(jīng)驗、有相應(yīng)資質(zhì)的設(shè)計單位進(jìn)行調(diào)查、咨詢、規(guī)劃工作。

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②凈化無塵車間的升級改造宜優(yōu)先選用各種隔離技術(shù)、微環(huán)境技術(shù)或局部潔凈裝置或?qū)恿髡值燃夹g(shù)手段，對需要高級別空氣潔凈度等級的生產(chǎn)工序、設(shè)備采用微環(huán)境裝置等技術(shù)手段同較低級別空氣潔凈度等級的潔凈室分隔或?qū)⒄w潔凈室提高至可行的空氣潔凈度等級，而對要求很高級別空氣潔凈度等級的生產(chǎn)工序、設(shè)備采用微環(huán)境裝置等技術(shù)手段。

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舉例ISO5潔凈室升級改道為 ISO4級和采用徽環(huán)境系統(tǒng)設(shè)計方案的技術(shù)經(jīng)濟(jì)比較后，采用了微環(huán)境系統(tǒng)的升級改造方案，以較小的升級改造費用達(dá)到了所需的空氣潔凈度等級要求，且能源消耗世較低：運行后經(jīng)檢測每一徽環(huán)境裝置均達(dá)到了ISO4 級以上的綜合性能。據(jù)了解，近年來許多超大規(guī)模集成電路工廠在進(jìn)行吉凈室升級改造或新建廠房時，都將生產(chǎn)廠房按1S05級/IS06級單向流潔凈室進(jìn)行設(shè)計建造及披生產(chǎn)線各工序、設(shè)備的高級別潔凈度要求采用 SMIF 微環(huán)境系統(tǒng)，達(dá)到了產(chǎn)品生產(chǎn)所秀的空氣潔凈度等級，既城少了投資費用、降低了能源消耗，還有利于生產(chǎn)線的改造、擴(kuò)產(chǎn)要求，具有較好的靈活性。

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    ③無塵凈化車間升級改造時常常要增大凈化空調(diào)系統(tǒng)的儲環(huán)風(fēng)量，即增大潔凈室內(nèi)的換氣次數(shù)或平均風(fēng)速，由此必然需要調(diào)整或更換凈化空調(diào)裝置、增加風(fēng)口的數(shù)量、增大風(fēng)管尺才以及增大供冷（熱）能力等。在實際工作中，為了降低潔凈室開級改造的投資費用．做到調(diào)整變動較小，解決的辦法只能是充分了解產(chǎn)品生產(chǎn)工藝情況和原有凈化空調(diào)系統(tǒng)的情況，合理劃分凈化空調(diào)系統(tǒng)，盡可能利用原有的系統(tǒng)及其風(fēng)管，適當(dāng)增設(shè)必要的、改造工作量較少的凈化空調(diào)系統(tǒng)。